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Semiconductor materials and process technology handbook
for very large scale integration (VLSI) and ultra large scale integration (ULSI)
A broad review of semiconductor materials and process technology, with emphasis on very large-scale integration (VLSI) and ultra large scale integration (ULSI). Brings together "snapshots" of the various aspects in different fields within the technology.
| 제목 | Semiconductor materials and process technology handbook: for very large scale integration (VLSI) and ultra large scale integration (ULSI) |
|---|---|
| 저자 | G. E. McGuire |
| 출판사 | Noyes Publications |
| 출간 | 1988 |
| 쪽수 | 675쪽 |
| 언어 | 영어 |
| ISBN | 9780815511502 |
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