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MEMS/MOEMS components and their applications V
special focus topics : transducers at the micro-nano interface : 21-22 January 2008, San Jose, California, USA
| 제목 | MEMS/MOEMS components and their applications V: special focus topics : transducers at the micro-nano interface : 21-22 January 2008, San Jose, California, USA |
|---|---|
| 저자 | Srinivas A. Tadigadapa |
| 출판사 | SPIE |
| 출간 | 2008 |
| 언어 | 영어 |
| ISBN | 9780819470607 |
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