20건
Brunner, 1995 / 판 2개
Anthony Yen, 2002 / 판 3개
Larry F. Thompson, Murrae J. Bowden, C. Grant Willson, 1994 / 판 2개
Elsa Reichmanis, 1989 / 판 2개
1984 / 판 2개
1986
SPIE, 1985
1987
1998
1997
1996
Yangyuan Wang, 2005
Donis G. Flagello, 2006
Anthony Yen, 2003
Bruce Smith, 2004
Symposium on Microlithography (10th 1990 Sunnyvale, Calif.), 1991 / 판 2개
Mircea V. Dusa, Willard Conley, 2010
1999
1990
1991
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